二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293614935 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE
ID: 293614935
晶圆大小: 12"
优质的: 2011
PECVD System, 12" 2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是为高性能半导体生产而设计的半导体制造设备。它配备了先进的自动化技术和精密工具,能够快速和高度精确地生产各种晶圆。该系统由安排在9机器人生产线中的双腔、单晶片处理模块组成。这两个会议厅独立工作,同时进行高速并发进程。每个腔室都装有模块化端效应器(MEE)机器人,执行晶圆处理过程。MEE机器人使设备能够执行并行进程负载锁定,从而提高处理吞吐量和效率。这两个腔室各包括两个等离子体源-一个用于蚀刻,一个用于加工.这些源被配置为生成多个允许增强功能的等离子体频率。蚀刻室包括一个多节点等离子体源和一个射频发生器,而处理室包括一个单一等离子体源和直流电/射频(DC/RF)发生器。该设备允许高度选择性的等离子体蚀刻和快速晶圆处理。该机还配备了样品处理器、薄膜涂层单元和温度控制器。样品处理器用于在加工前后分析晶片,而薄膜涂层单元则用于在基板上沉积薄膜。温度控制器用于监测和调节加工室内的大气条件,有助于确保生产过程的稳定。最后,该工具还包括几个机器视觉组件,使许多检查和测试操作自动化。这有助于确保各种晶片的高质量生产。总而言之,AMAT Producer SE专为快速准确地生产各种半导体产品而设计。它将先进的自动化系统与高度精确的工具结合在一起,实现了快速高效的晶圆处理。该资产合并了样品处理器、薄膜涂层和机器视觉元件,也有助于确保多种晶片的高质量生产。
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