二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293625379 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE
ID: 293625379
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
CVD System, 12" Process: PETEOS 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一种先进的化学气相沉积(CVD)设备,设计用于生产大体积的薄膜沉积。其创新的设计特点是具有高分辨率的全面积感光器,使保形膜沉积在大面积和简单的重新聚焦。AMAT Producer SE由坚固的不锈钢外壳构成,便于操作和维护。该系统配备了先进的等离子体控制策略和传感器,为整个基板区域提供了高度可靠和均匀的沉积参数。应用材料生产商SE为半导体、光电和MEMS市场提供高通量和均匀沉积的先进材料。该装置专为大面积沉积应用而设计,具有大磁感器和全面积气体注入功能。此配置可实现均匀的厚度、组成和性能均匀性以及高通量的过程时间。Producer SE的真空工艺室由坚固的不锈钢构成,配有非接触式单点径向密封,具有先进的等离子体控制选项。该室为化学气相沉积提供了一个稳定的环境,包括泄漏检测和化学纯度监测。加工室内和机器外部的保温材料保证了温度的稳定性和可靠性。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE使用集成诊断工具来监控工艺配方的性能并优化工艺选项。它还提供了一个MEMS级设备转移机制,以移动和对齐基板进入主加工室和提取它们从加工区。AMAT Producer SE由AMAT SpectraBrite Software供电,它提供了一个易于使用的图形用户界面,用于高效的操作和维护。该软件可方便地控制所有工艺参数,如气体流速、压差和温度曲线。该软件还提供了先进的工艺配方优化,允许快速优化加工参数和提高膜均匀性。APPLIED MATERIALS Producer SE是专门为薄膜生产而设计的先进CVD资产。它结合了高沉积速率、高分辨率全面积感光器、先进的控制策略和传感器以及可靠均匀的沉积,是大面积沉积应用的理想选择。它易于使用、内置诊断和集成的SpectraBrite软件使其成为有价值的选择,使其成为任何半导体制造过程中的关键组件。
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