二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293628311 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE
ID: 293628311
优质的: 2021
System 2021 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE(AMAT Producer SE)是先进的单晶圆半导体反应堆。它提供独特的功能组合,使其具有灵活性,并非常适合各种半导体处理应用。APPLIED MATERIALS Producer SE是一种感应耦合等离子体(ICP)反应器。这类反应堆结合电场和磁场产生等离子体,是一种热的、带电的气体。此等离子体用于沉积薄膜、蚀刻材料或执行其他半导体工艺。Producer SE配备了针对ICP工艺条件优化的1,000 W源,以创造最佳的等离子体加工条件。这使得反应堆能够快速处理底物,具有高均匀性,并具有低缺陷密度。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE的特点是有一个大的石英陶瓷室,直径宽大,可容纳多达六个基板。这使得复杂的过程可以同时在几个基板上进行,从而提高效率并产生高吞吐量。反应堆配备了几个先进的特点,以确保准确一致的工艺结果。其中包括双频射频发生器、获得专利的射频电路和可调节射频控制环路。这导致了对等离子体的精确控制,允许精确的过程参数和可重复的结果。AMAT Producer SE装有闭环温度控制系统。这有助于确保基板的温度保持均匀,即使在较长的加工过程中也是如此。该系统还配备了多项安全功能,包括多个联锁和一个压力监测系统。APPLIED MATERIALS Producer SE除了具有出色的复杂工艺性能外,还易于使用和维护。其模块化设计使安装和维护变得简单,并且与广泛的工艺化学体系兼容。该反应堆由AMAT AMATPC软件提供动力,使用户能够完全控制他们的过程。此软件还允许远程进程监视,从而可以轻松排除任何问题。生产商SE是先进的单晶圆半导体反应堆,非常适合任何研究或生产环境。它具有一系列功能,为用户提供了灵活性和一致的精确结果,而其易于控制的设计使其极其方便用户。
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