二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293636665 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE Reactor是一种先进的化学气相沉积工具,用于先进的材料加工。它是为需要极精确控制沉积过程的薄膜沉积应用而设计的。设备配备了专利双层薄膜控制(DLF-C)技术和先进的数字溷合系统,以精确控制薄膜性能。反应堆用途极为广泛,可处理多种基材尺寸,包括4英寸、6英寸、8英寸、12英寸。它能够沉积金属氧化物、氮化物、氧硝化物和碳化物的薄膜,具有极好的均匀性和对薄膜厚度和组成的控制。此外,该机组拥有先进的数字气体溷合接口,可以精确控制腔室流量和压力条件。这使得沉积具有优化化学和物理性质的薄膜成为可能。气体分布是使用一套高级监测系统监测的,这些系统位于工艺室内和机器控制台上。其他功能包括高级远程控制功能,可通过一系列自动编程选项访问这些功能。这些允许自动化的工具设置和监视。该资产还可提供多达两个阶段的流动,用于沉积子层,而不会产生压力扰动,从而使沉积在大块和小块晶片上的薄膜具有非同质性。该模型采用易于使用、自给自足的图形用户界面,可实现快速高效的设备设置和数据分析。该系统还允许用户整合流程数据,以便将结果用于深入的分析研究。AMAT Producer SE反应堆是一种高度可定制且功能强大的先进材料加工工具。其先进的数字气体溷合技术、沉积工艺的精密控制、两级流动、自动化单元设置、集成数据分析,使其成为先进薄膜沉积应用的理想选择。
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