二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #293825727 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一种通用工具,用于超高真空薄膜和溅射工艺。它是为电介质和导电材料的最先进的精密蚀刻或沉积而设计的。AMAT Producer SE是一种全面的设备灵活性,适用于大小晶圆尺寸和多种类型的工艺。应用材料生产商SE的核心是磁增强的Crossed-Field/RF/DC溅射源。这项专有技术结合了强大的电子源、高压电源和专门设计的磁性,以达到优越的均匀性和沉积速率。随着CrossedField/RF/DC电源功率和效率的提高,高质量薄膜可以沉积在任何晶片尺寸上,而无需基板加热。该系统提供了一系列控制功能-从手动到全自动批处理-以提高准确性和可重复性。Producer SE包括具有触摸屏触摸板控制器的高级大型机,可实时监控晶圆温度、射频功率和沉积速率。增强的过程跟踪可确保最大正常运行时间和一致性,这在当今复杂的处理环境中非常有益。AMAT/APPLICED MATERIALS Producer SE除了强大的Cross-Field/RF/DC电源外,还包括一个多功能的Ultra-High Vacuum封装,配有变速涡轮分子泵源以提供高抽水和压力稳定性。最先进的工艺传感器-包括低温样品-表面温度、压力和负载锁定传感器-允许精确的工艺控制和低污染。AMAT Producer SE还为分布式系统提供全面的自动化,能够从一台大型机控制多达16个工具。这种先进的体系结构实现了平稳的安装和集成,并提高了单元工程的灵活性。为了精确地送入和定向晶片,APPLIED MATERIALS Producer SE将增强螺旋条形码读取器与独特的智能拾取机器人结合在一起。Producer SE是为最具挑战性和最精确的薄膜和溅射过程而设计的高级工具。机器强大的Crossed-Field/RF/DC溅射技术优化了过程的均匀性和速度,而自动化刀具套件进一步提高了生产效率和准确性。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE具有高性能的特性组合,为高精度晶圆加工提供了全面的解决方桉。
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