二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9088227 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一种高通量的先进反应器系统，其设计目的是提供高均匀性和非常高通量的精确组合，用于先进的工艺材料沉积。集成的双腔室体系结构使两个独立的系统能够同时运行,当用户想要处理相同的晶片类型/尺寸时,它为过程灵活性和卓越的生产效率提供了工程解决方桉。AMAT Producer SE的特点是配备了创新的气体注入输送系统的大型均匀腔室，提供了高度均匀和可重现的等离子体工艺。大腔室设计允许精确的材料沉积均匀性和许多工艺选项，如气相、液相、化学气相沉积和原子层沉积工艺。独立的工艺模块AdvancedSource和HiCap由于低电流闪光热火花激励器（LFSE）使MPCVD工艺得以优化并提高了薄膜质量。低电流闪光热火花激励器通过控制射频（RF）进入腔室的功率,进一步提高了过程控制和精度,确保其保持在所需的水平,精度极高。LFSE还提供了一种控制电路，可以消除加工室上锐利边缘引起的电弧。其他功能包括一个强大的分段卡盘、一个单独的操纵器和一个分离室，使用户能够进行多步骤的过程，而无需将腔室气体溷合或残留物从一个过程交叉到下一个过程。APPLIED MATERIALS Producer SE配备了直观的软件界面,允许用户自定义、控制和监控每个过程。用户可以控制、监视和存储流程参数配置文件,从而确保不同批次的流程性能一致。软件还包括功能强大的File-Management系统,允许用户保存和轻松调用配置文件以获得可重复的应用程序结果。Producer SE具有卓越的拥有成本、高吞吐量、增强的与基板的兼容性以及在整个晶圆区域的出色均匀性。该反应堆还具有极好的可重复性，在连续运行过程中效果一致。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE为用户提供了材料沉积方面的最大灵活性,并具有执行一系列工艺技术的灵活性。