二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9088236 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是为硅外延设计的垂直单晶圆反应器（VSWR）。该设备的起源是近40年的AMAT专业知识、众多客户反馈和广泛的材料工程的结果。AMAT Producer SE具有创新的热管理设备,可实现从快速冷却到低温应用的精确温度控制。它使用高温垂直敏感器在过程中的均匀性，确保基板均匀性和可靠的结果。这个反应堆被业界称为"原位"化学气相沉积（CVD）系统，这意味着它在加工过程中直接将外延硅沉积到晶片上，所有这些都在同一个腔室中。封闭的过程是没有颗粒污染，因为它是密封在室内。这座高技术反应堆设计为低成本、低维护，使其成为从研究到全面生产的大宗工艺需求的理想解决方桉。它可以广泛的应用，包括对FinFET和3D NAND技术日益增长的需求，以及光电、MEMS和大功率碳化硅器件。应用材料生产商SE的核心是其先进的控制单元，该单元能够在沉积过程中对每个晶片进行实时过程监测和映射，从而实现复杂的配方编程。这种室内实时反馈控制机器有助于确保良好的过程性能和可重复的结果。此外，在整个晶片阵列上，设备在覆盖范围和厚度上都具有很高的均匀性。Producer SE ships as a complete wafer-to-wafer tool.这意味着使反应堆工作所需的所有元件，包括底物和晶圆处理，都包含在包装中。整个资产的长度不到八英尺,是实验室和制造环境的理想解决方桉。它采用模块化设计，可轻松融入任何类型的房间，节省空间，加快安装速度。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一种有效且适应性强的单片CVD模型，非常适合扩大半导体行业的生产需求。由于其优越的温度控制、精确的编程和实时的过程监控，这座反应堆每次都能提供出色的、完全可重复的结果。