二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9088242 待售

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ID: 9088242
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
CVD System, 12" Process: ACL Non-SMIF (3) Twin Chambers: ACL/APF) (3) RPS: localized by NPP Localized RF Generator Missing: (3) Ozone Generators (2) Kawasaki FI Robot (2) Ceramic Heater: (1) missing, (1) non-operational HDD 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一种将各种材料外延沉积到半导体晶片上的工具。它是一个垂直型反应堆,设计用于低温运行,摄氏250至500度。反应器由沉积室和热区两个主要部分组成。沉积室是发生沉积过程的地方。在该腔室中,加热的惰性气体以特定模式在晶片上循环,以确保均匀沉积。加热气体有助于促进沉积材料与晶片表面的良好粘附。室内也有石英灯,可以提供额外的能量提升,进一步改善材料的附着力。热区是材料被加热的反应堆的组成部分。它配有单级气体加热热墙熔饼,热质量低,温度快速倾斜。热的墙面柚子可以控制地加热材料,确保精确的沉积速率和均匀性。热区还配有温度控制器,便于准确控制沉积过程。AMAT Producer SE反应堆配备了众多的安全特性,如熔炉互锁设备、过温防护装置和紧急关闭系统。反应堆还有一个创新的冷却装置,有助于将温度保持在所需的水平。最后,反应堆配备了高质量的真空机,保证了高真空水平和清洁的操作环境。总体而言,应用材料生产商SE是外延沉积过程中一种高度可靠和高效的工具。它具有广泛的工艺能力,可用于将各种材料沉积到半导体晶片上。它具有直观的安全特性和高品质的真空工具,低温操作保证了沉积过程的精确控制。
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