二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9120403 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一种设计用于各种制造工艺的反应堆。它是一个大的高温真空室，可以容纳多种材料。该反应堆能够处理各种各样的材料，包括硅、砷化氙、氮化氙和磷化氙。它配有三个独立控制的真空室，可用于样品装载、样品转移和沉积/蚀刻过程。该设备还能够产生各种钝化和介电层。反应堆利用石墨敏感器在加工过程中支撑样品。它还具有两个同心石英密封环，以获得更好的真空密封。此外，该系统还包括一个气体输送装置，用于清除气体或将气体引入反应堆。AMAT Producer SE利用直流电（DC）高频溅射法沉积到样品表面。此工艺在生产超浅结（USJ）和其他精细特征方面非常有效。溅射过程还使机器能够提供高沉积速率、高均匀性和高工艺稳定性。该工具还设计有温度控制资产，以确保样品的温度在整个过程中保持一致。型号的温度范围为30至500 °C。设备还包括用于在反应堆环境中保持一致压力的压力控制系统。应用材料生产商SE支持多种材料和沉积过程，包括氧化、氮化、硅化、扩散和蚀刻。反应堆还配备了过程监测和控制系统，以获得准确和一致的结果。该单元包括一个在线数据采集和数据处理机器。此工具可以在整个处理过程中监视过程参数和示例条件。总体而言，生产商SE是一种高度通用和可靠的沉积/蚀刻反应堆，非常适合各种制造工艺。沉积速率高，均匀性高，工艺稳定性高，温度控制性好。它还拥有先进的监测和控制资产，以确保取得一致的成果。