二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9150542 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一个单晶片、批量负载反应器,设计用于高纯度半导体材料的外延。适用于生产需要各种沉积温度的薄膜源和装置,具有极好的均匀性和最小的污染。SE封装采用高效的晶圆加热元件和先进的气体输送系统,以产生高质量的沉积,从而产生成本效益。AMAT Producer SE创新包括加热晶片卡盘,它在整个晶片上提供均匀的加热,以提高均匀性和降低节流能力,从而改进过程控制。在批量和连续模式下都能提高生产过程的灵活性。先进的多区域供暖和气流分配系统确保了在封闭过程环境中的一致生产。应用材料生产商SE还利用了卓越的材料吞吐量和生产率.高通量的输送组件,加上智能晶片级工艺监控系统,确保了一个无污染的过程,其特点是循环时间快,均匀性好。反应堆是为广泛的材料和应用而设计的。提供了最多三种标准基板船尺寸的选择,各种气体输送系统允许一些沉积配方。此外,反应堆是自清洁的,并配有高分辨率的高温度计,设计用于在沉积过程中精确监测晶圆温度。Producer SE是多种高性能半导体产品的理想生产解决方桉。该反应堆的高效设计和多用途操作为任何需要高质量沉积工艺的半导体生产商提供了一个突出的价值主张。
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