二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9163057 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE (AMAT)是用于生产半导体的物理气相沉积(PVD)应用的设备。该反应器为高效的薄膜沉积提供了环境,提供了均匀、高质量的结果。它旨在实现过程控制,从而实现更高的产量和更低的拥有成本。这使得生产商能够以较低的成本生产出更多的半导体。生产半导体的复杂过程是通过在底物上制造含金属化合物的薄膜来实现的。然后将这层薄膜沉积在图样化的晶片上。传统的PVD沉积过程缓慢,过程变化程度不可接受。这就是AMAT Producer SE有所作为的地方。APPLIED MATERIALS Producer SE利用了一个称为反应式增强PVD (REPVD)的创新概念。这种技术通过利用真空室、底物和形成膜的前体气体之间的反应来提高工艺产率。反应发生是因为腔室加热到230至270 °C的温度范围内,使反应物在底物上形成粘附膜。通过内置反馈控制进一步优化沉积过程,使生产者能够微调和监测过程的各个方面。Producer SE的其他功能包括用于大面积均匀性的高硅通量层系统和用于高速沉积的先进PowerMax技术。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE还提供了几种安全功能。这包括一个保持腔室清洁的专利主动载波清洁装置和一个主动反应保护机,用于监视压力并将其保持在最佳范围内。这些功能可随时确保安全的流程。总体而言,AMAT Producer SE是半导体制造的强大工具。它结合了PVD沉积技术的最新进展和确保过程控制和可靠性的功能。它的多功能性使得它既适合大规模也适合小规模的生产者应用。
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