二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9198863 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一种高质量的PECVD（等离子体增强化学气相沉积）反应器，设计用于薄膜沉积在大面积基板上。该反应堆在高达200 °C的温度下运行，具有射频（RF）功率支持，以提高沉积速率。AMAT Producer SE是一个成本效益高、可靠的平台，用于大量生产集成电路、光电和MEMS（微机电系统）等复杂半导体器件。应用材料生产商SE有一个专有的气体盒设计，允许多个气体流入和流出的过程室。这保证了过程化学高度准确，导致薄膜沉积均匀，收率高。双区域PECVD工艺室的设计允许多种基板处理配置,如顶部/底部和同时/顺序沉积功能。这种多功能性允许沉积一系列不同的薄膜材料，如氧化物、氮化物、金属和多晶硅。Producer SE具有一整套诊断和非接触温度测量功能,可提供精确的温度剖面数据以促进准确的过程控制。它利用先进的流程控制系统,将所有流程参数集成到一套易于使用的工具中。这允许动态参数调整和优化过程条件，而无需修改程序。此外,内置诊断程序还提供有关流程条件和流程效率的实时反馈。AMAT/APPLICED MATERIALS Producer SE是为了长期运作的可靠性和重复性而设计的。它的模块化设计允许方便的维护和升级功能,从而能够进行升级以提高生产率和过程控制。该系统还具有高能效，具有降低二氧化碳排放的低压运行设计，使其成为半导体器件生产更具可持续性的选择。总体而言，AMAT生产商SE是一种可靠、通用的PECVD沉积工具。它具有双腔室设计和多种气流，用于精确的化学控制，使各种薄膜材料能够精确沉积。它还具有一整套精确温度分布和过程控制的诊断和过程控制系统。它是为提高能效和可持续性以及长期使用的可靠性而设计的。
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