二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9203790 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE
ID: 9203790
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
CVD System, 12" 2007 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS Producer SE(又称AMAT Producer SE反应堆)是一种先进的用于沉积薄膜和材料的生产设备技术,用于多种高科技产业。应用材料生产商SE反应堆系统是一种连续的基于真空的化学气相沉积(CVD)工艺,其模块化设计是为广泛和快速地引进新产品而开发的。它具有一个单端(SE)水平拆分工艺室,能够在环保的平台上创建超薄(低至1nm)高质量的薄膜。SE室配有四个预装气体输送系统,两个在上腔,两个在下腔,能够对一系列气体输入溷合物进行精确、可重复和优化的过程控制,这些溷合物可以定制和配置用于先进的商业应用。生产SE反应堆提供了两种截然不同的过程模式来提供最终的灵活性-连续或批量.在连续模式下,处理时间和温度可以通过短坡道上升和坡道下降时间快速灵活调整,为用户在研发活动中提供独特的能力。AMAT/APPLIED MATERIALS生产商SE反应堆利用高纯度多区温度。上部工艺室在300-800°C的温度下运行,确保精确控制化学品和气体的流动。下腔的温度介于200-300 °C之间,其压力可在1-10 torr之间调节。这些温度和压力提供均匀的膜质量和沉积整个设备。AMAT Producer SE反应堆配有先进的控制和监测系统,可实时查看晶圆级和腔室级的加工条件。这种传感器驱动的监控系统具有先进的算法,可以预测潜在的过程问题,并提供预测诊断和补救。CMC还允许预先编程的配方满足目标工艺参数。由于其易于使用的用户界面,APPLIED MATERIALS Producer SE反应堆的运行可以手动或自动完成,为操作员提供安全方便。可选的自动化软件支持晶片的自动加载和卸载,以及过程优化和周期缩短。生产SE反应堆是先进的生产设备,是AMAT生产套件的组成部分。它是一种高效可靠的工具,可帮助企业开发性能得到增强的产品,确保产品满足客户的期望。
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