二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9203837 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一种最先进的基于等离子体的沉积或蚀刻反应器，设计用于各种半导体晶圆的制造应用。反应堆的高效设计集成了先进的过程自动化、控制和监控系统，以实现高精度的结果。其镶板不锈钢真空室可实现高通量加工，基板空间宽敞，检测器和监视器配置广泛。AMAT Producer SE的精密处理能力可提供卓越的工艺一致性、边缘控制和清洁度,受到领先半导体制造商的广泛青睐。应用材料生产商SE利用独特、更高效的非贝尔旋风气体输送设备，实现更丰富的原位气体成分和更高的等离子体密度，以提高吞吐量和改进过程控制。该反应堆非常适合一系列单一晶片和聚类工具的应用，包括蚀刻、清洁和沉积。其负载锁定系统可确保在任何时候最小的气体损失,并且可以容纳200 mm大小的基板,同时还能容纳许多加热和冷却结构的配置。Producer SE还提供高级流程监控功能。它具有一个高级过程控制（APC）模块，该模块提供对过程变量的实时闭环反馈控制。其软件还包括对单个晶圆或群集工具应用程序的基于规则的控制。此外,它还提供灵活的配方开发和执行支持、自动报警系统以及对具有统计意义的数据的访问。最后，反应堆先进的安全特性使其成为一种可靠、安全的多用户应用工具。其获得专利的安全镶板利用X射线防玻璃，在不损害反应堆压力完整性的情况下提供关键部件的访问。此外,集成的高级安全单元允许系统管理员随时使用密码保护配方和机器完整性设置。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE通过其精度、过程控制和安全特性，为创新的半导体晶圆制造工艺设定了标准。它为业界提供了高效、可靠、安全的基于等离子体的沉积和蚀刻解决方桉。