二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9204009 待售
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ID: 9204009
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Twin chamber, 12"
Process: APF
Major part:
RPS: MKS FI80131(Astron ex)
HF RF Generator: 0920-00107(Apex3013)
Ceramic heater: AlN
Gas panel: 1-1/8 C-Seal surface mount
AC box: 0195-01042
Heater lift driver: 1080-00126
Pin lift driver: 0190-13840
Throttle valve: 683B-26033
ISO Valve: 99D0654
Manometer: 20T / 100T
Process kit:
Top liner
Middle liner
Bottom liner
Pumping ring
Lift hoop
AL Spacer
Gas configuration:
Gas Size(sccm) MFC Filter Valve
Stick 1 02 15,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 2 AR 5,000 UFC-8565 NAS Hamlet
Stick 3 HE 5,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 4 C3H6 3,000 IFC-125 NAS Hamlet
Stick 5 N2 Purge NA NA Hamlet
Stick 7 N2 15,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 10 02 15,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 11 N2 Purge NA NA Hamlet
Stick 12 NF3 5,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Stick 13 AR 10,000 UFC-8565C NAS Hamlet
Lift ring(Fixed type): Localized
Missing parts:
Foreline
Heater lift driver
Aluminum slit insert
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一种主要设计用于半导体制造和其他工业应用的共用反应器。它由AMAT, Inc.制造,旨在通过一套全面的工具控制、数据传输和监控功能,实现快速、高效和精确的操作。AMAT Producer SE由几个部件组成，包括反应室、真空设备、过程气体输送系统、喷射器、传送带、冷却装置和排气清洁机。反应室用来容纳和隔离反应堆内的环境。它配备了上游真空工具，这是总资产的组成部分。工艺气体输送模型有助于向反应室输送所需的工艺气体。喷射器引导和接收过程所需的化学物质，而传送带则用于在腔内移动材料。冷却设备用于调节腔室内的温度，而排气清理系统则有助于确保在产品释放前从环境中清除所有污染物。应用材料生产商SE是一种多级反应器，可用于多种工艺。它能够提供高水平的过程控制，包括精确控制反应参数、注入精确数量的化学品和过程监测。它还设计为提供高度自动化，具有动态改变操作条件和实时监控过程的能力。该单位还可以安全地在本地和远程传输数据，为过程的管理和控制提供统一的平台。在安全特性方面，Producer SE包括多种安全相关设置和警报，以帮助确保人员安全和工艺环境。例如，它配有内置的安全联锁机，在不符合某些条件的情况下，可以防止过程运行。该工具还提供了对所有流程参数的全面监控和日志记录，从而能够快速、轻松地诊断出任何与流程相关的问题。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是生产先进半导体器件的理想工具。凭借其提供高水平自动化、工艺精度和安全性的能力，可以为制造工艺带来附加值。
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