二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9204012 待售
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ID: 9204012
晶圆大小: 12"
优质的: 2002
Twin chamber, 12"
Process: HT SiN
Major part:
RPS: MKS FI80131(Astron ex)
Ceramic heater: AIN
Gas panel: 1-1/8 C-Seal surface mount
AC Box: 0195-02428
Heater lift driver: 1080-00126
Pin lift driver: 0190-13840
Throttle valve: 683B-24562
ISO Valve: SMC XZ-218
Manometer: 10T / 100T
HF RF Generator:
0920-00085
0920-00107
Process kits:
Top liner
Middle liner
Bottom liner
Pumping Ring
Spacer
Lift hoop
EQ Liner
Liner
Nitch
Gas panel configuration:
Gas Size MFC Filter Valve
Stick 3 N20 15,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 4 N20 1,000 IFC-125 PALL Hamlet
Stick 5 N2 Purge NA NA Hamlet
Stick 6 SiH4 1,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 7 NH3 700 IFC-125 PALL Hamlet
Stick 8 HE 15,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 9 N2 25,000 UFC-8565C PALL Hamlet
Stick 10 NH3 5,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 11 N2 5,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 12 N2 Purge NA NA Hamlet
Stick 13 NF3 5,000 UFC-8565C PALL Hamlet
Stick 14 AR 10,000 UFC-8565 PALL Hamlet
Stick 15 N2 5,000 UFC-8565C PALL Hamlet
Junction box missing
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是硅片生产的先进反应堆平台。它是业界首个为电子行业打造质量最高的集成电路的300 mm直径单晶圆处理系统。AMAT Producer SE加工半导体晶圆，具有业界最高的收益率。应用材料生产商SE的最新技术旨在提高晶圆的整体加工和产量。反应堆包括两个组件，以确保最大的性能和灵活性：集群工具和工艺模块。集群工具是反应堆的主要部件之一，负责在单晶圆环境下生产先进工艺。此工具可最大限度地提高生产灵活性、效率和成本节约。集群工具包括低温流程模块、多个流程室、高速隔离机制和选择性交付系统等高级功能。它还利用AMAT专有工艺配方来确保最佳的制造性能。Producer SE的第二个组件,即工艺模块,旨在优化单晶片环境中的处理。利用APPLIED MATERIALS专有技术，支持多种先进工艺，如原子层沉积、离子植入、离子铣削和蚀刻。它还可以提高吞吐量、产量和集成密度。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE配备了处理范围广泛的半导体晶圆，从50nm到10微米。它旨在处理最先进的工艺技术,使其成为那些希望为领先市场制造复杂半导体器件的人的理想解决方桉。AMAT Producer SE是一个强大可靠的硅片生产反应堆平台，提供业务中最高的收益率。
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