二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9215469 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一种半导体反应器，旨在让客户实现更薄的全晶片和均匀的薄膜沉积。该反应器非常适合生产超级集成电路和先进的存储设备。反应堆利用高水平的过程控制来确保可靠和可重复的晶片。该工艺室采用不锈钢衬里，耐用，易于重新配置。该室还集成了工业级真空系统和隔热窗。这种绝缘有助于减少能量损失，从而导致更好的过程控制。该腔室还提供改进的晶片装卸和更好的基板预对准。该工艺室配有失活器，以确保不同晶片运行之间的最佳清洁。该工具具有先进的双区域控制设备，带有旋转停用系统和静态停用单元。这台机器提供优越的工艺配方，可以调整，以达到最大的产量和性能。反应堆设有隔离区，以降低晶片对晶片工艺污染的风险。它具有先进的原位等离子体发生器，具有高度可配置的控制体系结构。这种原位等离子体功能通过减少与晶圆清洁相关的变量数量来提高工艺产量。反应堆的热壁设计实现了低热梯度的高温。它在小基板上提供精确的温度控制，在大基板上产生优异的热均匀性。热墙还能提高能源使用效率。AMAT Producer SE反应堆上使用的真空工具确保晶片在精确的真空条件下处理。真空资产采用涡轮泵、旋转叶片泵、机械助推泵的组合。该组合确保了高水平的过程稳定性和可重复性。反应堆配备了提供实时诊断和数据访问的先进远程监控模型。它还提供了详细的流程日志，以简化操作和维护设备性能。远程监控设备还可以改进故障排除和流程优化。