二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9229583 待售
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ID: 9229583
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
CVD System, 12"
UV Cure & SiN
FI: 5.3
FI Robot: KAWASAKI
Chamber A: Nano cure (UV Cure)
Chamber B: BD (Black diamond)
Chamber C: Blok (Barrier low-k)
Gas: IGS Type
Chamber A:
Gas / Model / Flow
Ar / UFC-8565 / 30slm
He / UFC-8565 / 30slm
Chamber B:
Gas / Model / Flow
O2 / UFC-8565 / 2slm
O2 / UFC-8565 / 500sccm
He / UFC-8565 / 5slm
TMS / UFC-8565 / 750cc
He / UFC-8565 / 5SLM
He / UFC-8565 / 12slm
NF3 / UFC-8565 / 3slm
Ar / UFC-8565 / 3slm
He / UFC-8565 / 5slm
He / UFC-8565 / 10slm
Chamber C:
Gas / Model / Flow
O2 / UFC-8565 / 3slm
O2 / UFC-8565 / 500sccm
He / UFC-8565 / 5slm
O2 / UFC-8565 / 10slm
He / UFC-8565 / 12slm
NF3 / UFC-8565 / 3slm
Ar / UFC-8565 / 3slm
He / UFC-8565 / 5slm
He / UFC-8565 / 5slm
UV Power supply rack: ASTEX Generator
Missing parts:
Vacuum EV
PC
Flex controller unit
Chamber B & C:
Heater power filter
Chamber IO Controller unit
Lid assy
MF Motion controller CPU board
LFC:
(2) mDEOS
(2) ATRT
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一种最先进的产品，是当今市场上质量最高的反应堆之一。这个单晶圆自动化平台为半导体器件制造提供了一个高效、经济高效的解决方桉。它能创造出种类繁多的材料，包括硅、移植物、砷和砷化铵，具有优越的工艺控制和较高的可重复性。AMAT Producer SE的设计提供了出色的温度控制和整个腔室的均匀性。APPLIED MATERIALS Producer SE采用独特的空气热系统构建,进一步确保了准确和一致的温度。这使得令人印象深刻的精确和可重复的结果，以及提供处理晶片基板的灵敏度较低。它还能够同时生产多层，帮助交货时间和提高质量。此外，一个顶级的系列嵌入式PC和直观软件是Producer SE系统的核心。其软件提供用户友好的命令和对其他操作的访问。该软件旨在帮助工程团队轻松高效地创建和重复流程,并优化流程以提高产量。这还提供了集成配方管理,以优化使用SE的10,000多种配方。在安全性方面，AMAT/APPLICED MATERIALS Producer SE配备了各种安全特性，包括过温和压力保护，以及硼硅酸盐视口。硼硅酸盐窗口允许全貌的过程，使食谱实时监测。AMAT Producer SE还具有日常维护程序,以确保操作一致。总之，应用材料生产商SE是一个特殊的，广泛接受的，用户友好的反应堆。强大的设计、安全功能和用户友好的软件相结合,使其成为高质量材料生产的可靠选择。它还支持高吞吐量、高效生产和高级工艺优化,从而节省了成本。
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