二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9239732 待售
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ID: 9239732
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
CVD System, 12"
Process: ACL
Sub process: HT ACL
SMIF / FOUP
(2) Twin chambers
Chemical: C3H6, NF3
AC Rack
EFEM
Rear monitor
Monitor rack
FFU Panel
Signal cable box
Load module:
(2) Load ports TDK E4
BROOKS MAC8 Loader arm
ALCATEL A100L Dry pump
Transfer module (Platform):
Transfer arm (Robot) BROOKS MAG8
ALCATEL A100L Dry pump
Process module:
(2) Chambers
(2) ALCATEL ADS 1202H Pumps
(2) NPP NPR-S10L RF Generators
(2) Gas boxes
(3) IBM X306 PC
Utility:
Distribution panel
ETC
Gases: CH36, NF3, N2, AR, HE
Operating system: Windows
2007 vintage.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER SE（基板电极）是一种半导体制造工具，设计用于在基板表面施加导电材料。利用电化学沉积--液体在基板上沉积固体材料的电解能力--实现均匀、精确层导电材料的一致、可靠、高度重复的沉积。AMAT Producer SE有一个洁净室级的腔室，为沉积过程提供一致的环境。目标电极（阳极）位于基板支架（阴极）正上方一个充满电解质溶液的包含区域，高电流通过溶液驱动，使所需材料能够电化学沉积。应用材料生产商SE通过批量操作保护液体电解质不受污染和蒸发.它也非常适合自动操作和与装配线集成。为了达到均匀均匀性，腔室利用搅拌特性和搅拌桨促进材料在目标基板上的均匀分布。每个过程的循环时间都是高度可靠的，因此不需要操作员在沉积周期中计算或调整变量。涂抹材料的特性也非常可重现，涂抹器的锐利几何控制允许创建薄而紧密形状的特征。这些工具还具有微米的分辨率和精度。APPLIED MATERIALS/Producer SE提供了强大的高端电化学沉积（ECD）系统,具有许多功能,从快速循环时间和温度控制能力到使用额外惰性气体以提高处理能力。此外，该工具是以广泛的材料如铜、金、铝以及其他各种金属氧化物达到高质量、可重复、可再现的效果的有效方法。为了进一步提高工艺的复杂性,它能够支持蚀刻、蚀刻停止、平面化和边缘珠置换,从而提高了工艺的可重复性。该系统还由AMAT/APPLIED MATERIALS客户服务合作伙伴Enviro-Tech维护和服务。Enviro-Tech利用高级诊断程序对AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE系统进行日常维护和维修。这些服务有助于维护工具的顶级性能和一致的流程性能。此外，Enviro-Tech的工程师还向AMAT Producer SE提供有关系统使用和开发新沉积配方的培训。
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