二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9240191 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一种设计用于半导体工业制造半导体晶片的反应堆。它由一个热化源、气体输送设备、一个电极系统和一个真空室组成，晶圆可以在其中进行一系列气体处理。AMAT Producer SE利用热丝单元进行氧化硅、多晶硅及相关材料的化学气相沉积。灯丝的热表面被加热到所需温度，通常为600°C，以允许挥发性化学物质分解。蒸气充分分解后，以受控的压力和流速引入真空室，在那里沉积到晶圆表面上。光源和电极有助于维持腔内组合气体环境的均匀性。电极有两个功能：一个是维持负直流偏压，这有助于沉积过程，另一个是维持正确的腔室压力。气体输送机由几个部件组成，包括质量流量控制器、气体歧管和远程或集成阀。气体歧管将气体从质量流控制器收集并引导进入腔室，并使用阀门调节腔室内的气体压力。最后，热化长丝工具有助于提高沉积过程的速率、稳定性和均匀性。热化长丝的设计是为了降低长丝的热梯度，这有助于创建一个更快，更均匀的沉积速率。APPLIED MATERIALS Producer SE是一种强大的反应器，设计用于将氧化硅、多晶硅和相关材料沉积到半导体晶片上。它由热化源、气体输送资产、电极模型和真空室组成。热化灯丝设备有助于在腔内保持均匀的热梯度和气体压力，而电极为均匀的沉积过程提供必要的直流偏置电压。所有这些特性结合起来，使得这种反应堆成为制造半导体晶片的高效、通用的工具。