二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9251462 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Producer SE（AMAT Producer SE）是一种用于半导体器件制造的单晶圆反应器。它是一个垂直炉反应堆，专门为与半导体和相关器件中的物料层沉积有关的应用而设计。应用材料生产商SE能够支持多种沉积材料,包括氧化物、氮化物、碳化物以及非晶硅等复合材料。其底压小于5x10-6 torr，腔室大小为4"。它还配有石英室和由高级陶瓷材料制成的加热板。加热板可支援高达1200 °C的温度，以及温度斜坡、线性方程式或个别台阶。热控制用户友好，范围介于50°C和1200 °C之间。它还配备了一个旋转卡盘，以确保晶片上的均匀沉积。Producer SE的主要特点是可靠性和可重复性。该工艺室采用陶瓷加热元件和模型控制的温度曲线，可实现精确的温度控制，以确保工艺结果一致。此外，腔室的气体流出率低，操作前不需要烘烤。该设备还具有自动端点检测功能,有助于确保系统过程的成功,并且可以针对各种材料进行编程。此外，该单位还有一台综合燃气管理机。这有助于确保过程中准确、稳定的气体输送。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是用于半导体和器件应用的强大工具。它提供精确的过程控制,需要较低的拥有成本,并且对于一致的结果是可靠的。该工具可用于各种沉积材料，对于那些需要一个可重复和成功的晶圆处理解决方桉的人来说是一个强大的解决方桉。