二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9251465 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一种自动化化学气相沉积（CVD）反应器，因其集成和先进的工艺控制特性而独树一帜。AMAT Producer SE为低和高k材料的沉积以及复合半导体合金如GaAs和InGaAs的合成提供了最佳解决方桉。反应堆设计能够在广泛的沉积参数上实现可靠和均匀的沉积，并为客户制造系统的紧密集成提供了超紧凑的空间。反应堆由一个沉积室组成，该沉积室有四个单独的供暖、制冷和入水的进料电源以及一个背面敏感器。该腔室设计为达到1200 °C的最高工作温度，并使用机械涡轮分子泵将基本真空保持在10-7 mbar以下。调节后的气体反应物流通过气体分配系统从综合输入源精确输送到沉积室。Crucible由钨和铵制成，能够达到高达2000 °C的温度。背面敏感器由石墨制成，还包括一个加热器板，以实现固体反应物的平衡加热。APPLIED MATERIALS Producer SE包含几个独特的功能,以提高过程稳定性、一致性和可靠性。例如,生产者包括一个温度控制的磁感器,它可以自动调整压力和流量,从而提高加工窗口的稳定性。反应堆还合并了一个多区加热系统，隔离四个腔室中的每一个，以避免反应物之间的交叉污染。这种多区系统还允许在基板温度剖面中更大的均匀性，同时沉积在较大的基板上。此外,Producer SE还配备了集成冷却功能,以进一步减少沿基板的热梯度。反应堆还配备了用于停止过程的紧急按钮、基于卤碳的冲洗以及用于保护操作员和周围环境的安全阀系统等先进安全系统。此外，反应堆能够储存多达八种配方，以便快速循环沉积过程参数。集成的离线控制器使得从单个位置远程控制反应堆成为可能，以避免手动错误并减少设置时间。总而言之，AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一种坚固可靠的自动CVD反应器，可用于各种沉积过程，并能提高均匀性和过程稳定性。因此，AMAT Producer SE可用于在半导体工业中可靠地、快速地沉积各种材料和合金。