二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9258533 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一种400 mm电子束蒸发器设备,设计用于先进的基板沉积。它是现有的最先进的沉积工具之一,具有高功率电子束源和精确、可重复的剂量控制。该系统的沉积速率高达每分钟600埃,非常适合所有类型的薄膜应用。此外,它还有一个大的腔室尺寸,可容纳多达500毫米的晶圆,简化了装卸操作。强大的光束源和腔室设计结合了交钥匙操作和自动化友好界面,提供可靠一致的薄膜沉积。AMAT Producer SE利用增强过程监控(EPM)确保产品沉积和质量一致。EPM单元监测沉积速率、沉积均匀性和剂量控制,以确保工艺精度。这样可以确保每个晶片和批次之间的一致性,从而使用户能够信任其结果。此外,分数监视器将过程控制收紧到0.1%,从而创建更一致的产品,并减少过程的可变性。最后,APPLIED MATERIALS Producer SE配备了预测学习和监视(PLM)功能,可以提前诊断潜在的任何异常,从而减少停机时间和生产延迟。该机器还配备了最新的安全功能,使其能够满足所有的监管标准。其中包括三级前开口安全门(TFOSD)工具、安全边缘阻挡机构、分布式资产架构(DSA)和惰性氙气充气模型(IAGS)。更不用说,还有许多用户友好的功能,如可选晶圆识别模式(SWIM)和整体设备有效性监视器(OEEM)。所有这些功能的结合使Producer SE成为当今市场上最先进的半导体沉积系统之一。
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