二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9258535 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE(特别版)反应器,简称单晶片工具,是一种用于生产先进集成电路的半导体加工设备。该设备能够为各种高级市场提供专门的流程应用程序,包括FD-SOI、高性能逻辑、RF、MEMS和3D集成。AMAT Producer SE是一个模块化工具集,允许工程师定制系统以满足其特定应用。该平台具有高度灵活的体系结构,具有多种可配置的工艺座椅模块。这种灵活性使设备能够提供各种工艺功能,如氧化、氮化、沉积、蚀刻、干条、直接写入光刻和成像。APPLIED MATERIALS Producer SE还具有复杂的阵列功能,包括高分辨率的多个阵列过程,以评估具有纳米尺寸临界尺寸的紧密设计结构。该机还包括先进的过程控制和监控功能,允许紧密集成,实时过程监控,以及超清洁处理的原位过程优化。该工具以直接输送液中气体(LIG)资产为基础,可实现自动化的低压前体输送,以及在工艺室内进行气体溷合控制。这可以提供卓越的蚀刻速率和工艺一致性,并减少前体消耗,从而提高利用率。此外,作为模块化模型,Producer SE可以合并到现有的模块化集群工具设备(MCT)或其他适用的工厂自动化系统中。这允许与现有制造系统中的其他工厂流程节点进行无缝的过程共享和集成。AMAT/APPLICED MATERIALS Producer SE单晶片工具具有先进的工艺技术、高灵活性和广泛的可配置性,是开发和向市场提供最先进、低成本和可持续的产品的理想单元。
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