二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9261409 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一个单端（SE）生产反应器，设计用于沉积多晶和非晶态半导体材料的薄膜。该反应堆设计用于在高达800°C的温度下输送1.5nm至5nm/分钟的材料沉积速率。SE使用远程操作的源室，其中包含电子束源，以提供高能、均匀的电子束。该光束被定向并聚焦于反应堆主腔内的基板表面。主室还配有空气冷却衬里，以维持所需的温度，并支撑沉积过程。该系统配备了数字控制器，用于控制广泛的过程变量，包括束电流、电子束偏转和聚焦，以及腔室内的温度和压力。数字控制器还使用户能够调节基板温度和腔室压力，以实现不同成分材料的最佳沉积速率。此外，数字控制器可用于精确监测和优化最大屈服率和沉积速率的工作时间、光束电流和腔室压力。对于某些需要较高基材温度的材料，AMAT Producer SE可以配备额外的石英管来提供额外的加热。石英管既可用于基板加热，也可用于侧壁加热，提供比被动侧壁加热器更均匀的基板加热。石英管内的逆变电源可用于精确设置特定工艺参数所需的电流轮廓和温度。除了手动控制的过程变量外，APPLIED MATERIALS Producer SE还包括一个自动化系统，在每次使用后清洗腔室。这个自动化系统使用了一系列的清除循环，以确保有害的碎片从沉积室中清除，并确保基板表面完全清洁。这种特性对于获得最佳的薄膜特性和产量是必不可少的。生产商SE的设计目的是为薄膜和聚合物的沉积提供最大的吞吐量和精度。它是寻求高效可靠的中小型生产解决方桉的工艺工程师的理想选择。单端设计，SE可以在维护最少的情况下达到最高的生产率。利用这些特性，AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE的用户会发现它是他们沉积要求的最佳选择。