二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9274481 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一种高性能的沉积设备,能够将介电、金属和其他材料沉积到各种工艺几何形状的基板上。该系统利用专有的多源平台,为所有过程步骤提供卓越的均匀性、温度均匀性、速率匹配和可重复性。它是设计和完全自动化的，用于具有多种工艺的生产线，包括但不限于物理气相沉积（PVD）、溅射沉积和化学气相沉积。AMAT Producer SE可实现极低的基材污染和晶片对晶片的不均匀性,同时确保高吞吐量、重复性和控制精度。应用材料生产商SE平台由几个模块组成，包括大型机、蒸发器、洗涤器和电源。大型机充当平台的中央控制单元，由计算机和软件组成，控制整个机器。蒸发器模块用于晶片表面沉积，利用标准工业级部件提供一致的吞吐量和工艺，同时实现了优异的基板均匀性。洗涤器模块用于工艺室的排气清洗，以适应各种不同的工艺。电源模块用于控制蒸发器模块的电源。该工具还包括多项功能,可确保最大程度的流程灵活性、可重复性和精确控制。该资产配备开放式浴室设计、多工艺烤箱和先进的晶圆提升能力。多源平台允许在一个通道中沉积几个物料层，提供最大沉积速率。该模型还提供了可调的颗粒过滤能力，确保了自限沉积过程的均匀性。此外，Producer SE具有独特的校准特性，可以精确控制蒸发速率、厚度均匀性和沉积质量。AMAT/APPLICED MATERIALS Producer SE用途极为广泛,可提供广泛应用的最佳沉积结果,包括显示技术、半导体互连、磁性记录介质和薄膜应用。这种设备非常可靠，在整个系统中集成了极好的容错能力，并有各种工艺参数量身定制，以确保最精确的沉积结果。因此,AMAT Producer SE提供了卓越的性能和可重复性,使其非常适合大批量生产环境。