二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9275287 待售

ID: 9275287
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
CVD System, 12" (3) Twins Process: HT SiN OS FES (CGA) RPC NPP Throttle valve 2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是设计用于半导体制造行业的最先进的化学气相沉积(CVD)反应器。AMAT Producer SE是利用感应耦合等离子体(ICP)源和多种热源将多种材料--包括氧化物、氮化物和金属--沉积到基板上的单晶片生产反应器。其独特的设计结合了单晶片加工和高温CVD,具有卓越的均匀性和卓越的生产率。应用材料生产商SE由几个主要部件组成,包括一个ICP源、一个气体输送系统、一个装有几个基板的炮塔和热源。ICP源是一种感应耦合的高频线圈,用于将反应室中的气体电离,使其反应并沉积在底物上。气体输送系统供应进行沉积反应所需的气体,炮塔容纳将接收沉积物质的底物。最后,热源提供了引发和加速沉积反应所需的能量。生产商SE设计为用途广泛,可用于多种沉积应用,包括热稳定薄膜沉积、纳米颗粒沉积和光学薄膜沉积。它有三种型号-SE 75、SE 100和SE 150-可满足不同的晶圆尺寸和工艺要求。AMAT/APPLIED MATERIALS生产商SE节能环保,因为它减少了对额外工艺气体和能源的需求,同时也提高了工艺稳定性和产量。此外,AMAT Producer SE的设计也是为了最大限度地提高操作员的安全性,因为它具有许多安全特性,包括控制气流、工艺室保护性气体的流入、密封的基板储存区和紧急停止功能。总体而言,APPLIED MATERIALS Producer SE是一种功能强大且用途广泛的CVD反应器,设计用于半导体制造行业。其创新的设计使单片加工具有更好的均匀性和生产率,使其成为高产生产先进材料的理想选择。
还没有评论