二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9280399 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER SE被设计为一种半导体蚀刻反应器，用于精确蚀刻到基板表面或从基板表面去除特定材料，损害程度最小。这种反应器可以利用各种蚀刻工艺改进尺寸和电气控制，促进制造高度精确的特性。它配备了保持稳定一致的工艺环境的真空设备，以及提供精确温度和功率控制的车载硅晶体监视器。反应堆利用一系列强大的技术来创造所需的特性和效果，包括离子注入、光刻蚀刻和光刻剥离。其集成的等离子体源和单一晶片源提供了包括各种金属和塑料在内的各种材料的蚀刻能力。直接写入扫描系统支持复杂的阵列,以实现最高级别的自动化和准确性。该单元使高级过程控制能够实现可重复和准确的过程结果。反应堆配有一个真空室，能够持续高真空水平，从而能够有效地运输和蚀刻材料。它通过精确的气体输送、离子能量和离子能量控制提供了出色的过程控制，使用户能够准确控制其目标材料的蚀刻速率。此外,端点检测机允许可重复的过程结果,从而确保最终设备是一致的。AMAT Producer SE专为在大批量生产环境中安全高效运行而设计。其专有的冷却设计具有两个水冷线性级，允许快速启动和冷却基板。其先进的真空工具能够处理高颗粒密度，确保所有工艺的可靠性能。集成反应室提供均匀的稀释速率，在底物表面具有一致的温度分布。此外，它还提供压力控制，以减少物料运输，在整个过程时间内保持一致的气体流量，以及一个统一的泵送速率。这样可以确保出色的蚀刻均匀性,从而实现精确的蚀刻轮廓和准确的设备特性。APPLIED MATERIALS Producer SE资产提供了一套全面的特性和功能,能够增强半导体制造性能和增强对蚀刻条件的控制。从最大化均匀性到优化产量，是适合各类应用的可靠、高效、具有成本效益的蚀刻反应堆解决方桉。