二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9280551 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE （AMAT）是一种高通量化学气相沉积（CVD）反应器，用于将薄膜精确共形地沉积到多种基材上。该反应堆非常适合生产高光学、电或热性能的薄膜，这些薄膜经常用于制造半导体器件、薄膜电池、显示器和其他组件。AMAT Producer SE利用先进的脉冲硅控制整流器（SCR）电源产生精确和可重复的脉冲形状，允许在CVD过程中精确控制等离子体和蒸气化学。其综合气体溷合系统使反应物气体的溷合物能够高精度地输送到沉积过程中。此外，双区温度控制技术允许为基板及其周围环境设置不同的温度。APPLIED MATERIALS PRODUCER SE的可自订製程室体积少于2,000立方厘米，使其可以支撑最大10吋尺寸的基板。该腔室的工作压力范围为25-50毫升，设计目的是限制杂散气体的作用，确保高真空水平。此外，工艺室的横向通量设计提供了最佳的沉积均匀性，提高了工艺的生产率和产量。Producer SE的先进特性允许生产各种各样的薄膜，从低电阻率的铜膜到半透明的导电氧化铝。它最多可提供四层材料，具有独特的成分和晶体结构。该系统的可重复工艺参数保证了高性能薄膜的可重复性和质量的一致性。该工艺的灵活性和精确度，加上AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE反应堆的可扩展性，使其成为半导体和电子工业制造商的理想工具。其无与伦比的处理能力使生产具有业界领先产量和成本效率的高性能组件成为可能。