二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9281300 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE Reactor）是一种专为半导体製造而设计的单晶片气簇离子源反应性离子蚀刻器（RIE）。该设备整合了公司基于超场诱导无阻等离子体流动、高离子密度、均匀等离子体能量分布的领先等离子体生成和控制技术，以改善工艺流程。低阻抗磁助电离（MAI）技术可以提高工艺灵活性和性能。由于交流电感耦合源,该系统也具有很好的生产率.凭借其高度先进的基于PC的设备界面，AMAT Producer SE结合了全自动设备控制和多个用户功能。它具有高级流程优化功能,大大减少了配方设置和操作改进所需的时间和资源。这是通过控制诸如气体流量比、压力、温度和定时等参数的复杂软件应用程序启用的。FEOL（线前端）批次植入蚀刻工艺特点使其使用非常方便，可应用于各种化学气相沉积、离子植入、植入后蚀刻等应用。应用材料生产商SE配备了强大、独立的负载锁定晶体离子枪组件，可提供高离子密度。SE获得专利的紧密耦合高速气体输送装置为高精度过程控制提供精确的气体比。其独特的双模植入通过允许同时发生蚀刻和植入序列来加快过程。通过自动调整等离子体条件以提高效率的RIE气体脉冲机的快速反应时间，进一步提高了生产率。Producer SE的双模和分模基板处理工具提供了前所未有的灵活性,可以选择不同的腔室配置。该资产还具有ProPlasma的高级过程监控功能,该功能提供有关等离子体特性、蚀刻过程性能和原子种类组成的实时数据。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一种可靠且经过验证的工具,旨在满足半导体制造商在实现高效、高质量、经济高效生产方面的需求。凭借其先进的功能集和控制功能,SE为当今复杂的设备制造需求提供了经济高效的解决方桉。
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