二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9284567 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE
ID: 9284567
CVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一种用于半导体加工的单晶片化学气相沉积(CVD)反应器。该反应器提供了具有卓越保形性和均匀性的材料膜的精确沉积,是包括2D和3D内存、射频器件和大功率器件在内的一系列应用的理想选择。该工具在不影响过程稳定性和薄膜质量的情况下实现了高吞吐量,即使对于关键、复杂的3 D结构和具有挑战性的过程步骤也能提供卓越的性能。AMAT Producer SE具有重型波纹管穹顶和负载锁组件,有助于最大限度地减少频繁热循环产生的磨损,其先进的热气态和液态源使反应物的精确输送能够可靠的重复处理。反应堆还配备了具有提升和倾斜机构的石英工作管,用于最优膜沉积,以及用于反应物快速排空和泵送的最先进的涡轮泵系统。该工具还具有实时目视检查和自动对准系统,用于高级控制过程参数。该工具专为坚固、长期的操作而设计,易于维护。耐用的不锈钢外壳耐腐蚀,符合高安全标准。高级软件界面允许精确设置和监视所有工艺参数,确保一致的操作以提高产量和更可靠的生产。反应堆提供了极好的效果,低k薄膜能够1000A性能在广泛的工艺范围。它在标准半导体级部件和惰性气体上运行,是高批量生产的高度可靠的选择。
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