二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9284854 待售
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已售出
ID: 9284854
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
SACVD system, 12"
Process: BPSG
(3) Twin CVD chambers
(2) Foup loader ports
Signal tower: 4 Color
MKS and ASTEX Plasma clean
AC Control rack
Generator rack
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Gases:
TEOS
TEB
TEPO
LDC
Power supply: 208VAC, 50/60Hz, 3 Phase
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是为半导体器件制造而设计的革命性的先进反应堆。这一独立设备由三个组成部分组成:一个活性金属有机化学气相沉积室、一个相邻的惰性副产物室和一个多气源。MOCVD腔室设计用于生长高质量的半导体薄膜,并通过其先进的温度控制来控制材料的热历史。惰性副产品室为危险汽化材料在通过排气系统安全清洗之前提供了安全的密封空间。多气体源提供了将外延材料沉积在基板上所需的必要气体。AMAT Producer SE反应堆的设计采用了几种专利技术,将其与传统的MOCVD系统区分开来。其中包括先进的温度控制单元,确保快速反应和最佳工艺温度;一个独特的石英圆顶,为更大的化学反应性和最小的气体消耗而配置;改善均匀性的三重垂直温度区;以及先进的排气机,能有效清除有害物质。这种最先进的工具还具有一系列诊断工具和交互式控制器,可以进行精确的监控和控制。APPLIED MATERIALS Producer SE旨在满足半导体生产最苛刻的要求。它具有无与伦比的准确性和可重复性,有助于减少错误和提高产量。其"半导体设计"(DFS)概念提供了在MOCVD过程中对温度的最佳控制,以确保无论工艺条件和环境影响如何都能获得最高质量的薄膜。该资产还能够形成厚度、形状和结晶结构精确的外延结构。总体而言,生产SE是一种先进的反应堆,能够满足半导体生产的严格要求。其独特的特点保证了卓越的薄膜质量、严密的热管理、快速的加工时间和低成本的操作。此外,高级诊断和控制器的应用为复杂的设备研究和生产提供了高效可靠的工具。
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