二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9294355 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是为半导体研究人员、制造商和学术用户设计的最先进的外延沉积设备。它提供了广泛的沉积和蚀刻过程以及精确的控制和现场监测能力。该系统设有外延化学气相沉积（E-CVD）室和介电蚀刻室。AMAT Producer SE可以存放各种III-V材料如GaAs和InP，以及SiO2和Si3N4。该沉积过程得到高效加热器的支持，从而在生长过程中实现最小的热失真，从而获得更高质量的表层。该腔室设计用于在大面积（最大4英寸晶圆直径）上提供均匀沉积。应用材料生产商SE配备了一个先进的、专用的epi-monitor单元，用于在沉积过程中对层进行原位表征。本机包括激光感应电流电压（LIV或IV）、离子通道、光致发光（PL）、原子力显微镜（AFM）等多种正交原位微光谱技术。这样可以实时控制外延生长过程,从而优化整个基板上的层质量和均匀性。此外，该工具还配备了遥控介电蚀刻室，具有广泛的兼容蚀刻气体。该腔室配有直接等离子体源，提供对工艺气流、蚀刻功率、底物温度的精确控制。这样就可以精确蚀刻各种介电材料,例如Oxynitride、SiO2和Si3N4,用于高长宽比应用。Producer SE是一种易于使用且高度可靠的资产，提供出色的过程控制和层表征能力。AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER SE凭借其高精度的蚀刻和沉积能力，结合原位监控能力，是需要大规模生产高质量外延层的研究人员和制造商的理想工具。