二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9311351 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Producer SE是一种先进的晶圆制造反应器技术,为广泛的应用提供卓越的性能和灵活性。这种用途广泛的晶片蚀刻反应器具有较大的加工面积和先进的腔室设计，以实现最佳的等离子体均匀性和可重复性。AMAT Producer SE采用了最新的自动化和过程控制技术,可实现精确的过程控制和监控。APPLIED MATERIALS Producer SE是为高效吞吐量而设计的双晶圆平台系统。它配有两个大的垂直安装的冷却头,可在-15度到+15度之间调节。增加的冲洗气体流量也允许快速冷却和释放晶片从卡盘。Producer SE的设计目的是在加工区提供均匀、可重复的等离子体，消除热点并加速蚀刻速率。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE的核心是其先进的技术强健的电源。这种电源能够对无功离子蚀刻等离子体进行严格控制和提高性能。AMAT Producer SE拥有一台运行在13.56 MHz轨道频率上的高频射频发生器，并具有0至400 kHz的可调射频输出。这确保了一个干净、稳定的背景等离子体与一个可调功率比优化蚀刻速率。APPLIED MATERIALS Producer SE旨在为蚀刻加工提供卓越的灵活性和晶片到晶片的重复性。其符合人体工程学的设计包括一个获得专利的射频匹配电路,该电路在各种负载下具有一致的射频性能,以及一个双螺栓磁力歧管,有助于创建各向同性等离子体形状。此外,其带惰性气体的闭环冷却系统提供了出色的可重复性,并允许在不同的工艺运行过程中实现可重复的蚀刻速率。综上所述，生产商SE是一种坚固、用途广泛、成本效益高的晶圆制造反应堆。其较大的处理面积、可调节的螺距冷却头、坚固的电源和射频发生器，以及先进的磁流形和射频匹配电路，确保了卓越的性能和卓越的重复性和控制能力，适用于广泛的应用。