二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9315106 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE（Spin-on Epi）反应器是一种用于在工业和研究应用中沉积薄膜的最先进的epi沉积系统。AMAT Producer SE具有革命性的新设计,它利用了易于扩展的模块。这使得沉积过程能够根据特定需求进行定制和定制,并具有最大的灵活性、质量和成本效益。APPLIED MATERIALS Producer SE supported direct wafer-to-wafer manufacturing,允许基板在加工室之间直接转移,而无需进入洁净室环境。反应堆可以与现有的上下游工艺相连接，提供完全集成的薄膜沉积解决方桉。反应器室由不锈钢制成，设计用于一次最多沉积两个晶片。它被密封到低至5 × 10-7 Torr的真空水平，并利用两区或三区基板加热。双区选项支持单卡带传输，而三区选项则同时支持两个卡带的双向卡带到卡带传输。生产者SE的核心是沉积源模块，它是为普遍容纳各种沉积材料而设计的。软件控制源模块支持广泛的过程序列，从简单的ALD（原子层沉积）到复杂的、时间顺序的多步骤过程。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE还具有出色的现场监测和控制系统,使最终用户能够查看实际的实时废水控制以及紧急情况下的报警功能。此外，反应堆还配备了先进但用户友好的图形用户界面，用于访问各种薄膜应用的标准配方。利用此功能,可以从远程工作站监视和控制实际的沉积过程。除了支持用户定义的配方外，AMAT Producer SE还为流行的应用提供了400多种预定义、设备专用的配方，包括SiN、SiC、SiOx、氮化物、电介质以及许多其他薄膜。总体而言，APPLIED MATERIALS Producer SE是一个顶级的、成本效益高的反应堆，旨在满足大小企业的需求。它操作简单，具有优异的薄膜沉积性能，并具有根据各种应用要求量身定制的灵活性。此外，它的实时监测和控制系统促进了过程的快速优化和质量保证，使其成为研究和工业应用的理想选择。