二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9351469 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一种专门为沉积用于制造半导体器件和元件的薄膜而设计的反应器。这个反应堆利用了许多不同的技术来制造构成半导体的薄膜。这些包括物理气相沉积(PVD),或蒸发、化学气相沉积(CVD),或使用中间体产生薄膜,以及原子层沉积(ALD)或通过几个原子在基板上的组合来生长薄膜。AMAT Producer SE的核心是其加工室。这个腔室设计用来容纳将在制造过程中使用的各种基板。腔室还提供了一个可进行薄膜沉积的受控环境。腔室的关键部件是电源、光学高温计和真空组件。此外,该室还装有工艺监测设备和安全联锁装置,可防止意外超压,从而损坏工艺室及其部件。为确保薄膜的可靠和准确沉积,应用材料生产商SE利用了聚氯乙烯和聚氯乙烯技术。PVD依赖于要沉积在基板上的材料的蒸发,而CVD则依赖于使用中间体来制造薄膜。在沉积过程中,对原料施加动力,然后在基板上产生所需的薄膜。另外,ALD用于通过组合基板上的多个原子来创建薄膜。这是通过一系列步骤来完成的,从而形成所需的薄膜。为准确控制沉积过程,生产企业利用多种光学和电气系统.其中包括高通量光学高温计和工艺监控系统等光学器件,允许精确的工艺控制。此外,反应堆利用各种传感器和联锁装置来保护燃烧室及其部件免受损坏。这包括压力传感器、温度传感器和电流过载保护系统。总体而言,AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一种高度先进和可靠的反应堆,旨在沉积用于制造半导体器件和部件的薄膜。它利用PVD、CVD和ALD等多种技术,确保薄膜在基板上的沉积准确一致。此外,系统还包含各种光学和电气组件,以提供精确的过程控制。最后,反应器包含安全联锁,以防止工艺室及其部件的超压。
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