二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9354650 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一种专为需要高通量、高产量和低工艺变异性的作业而设计的半导体反应器。它是一个单晶片离心沉积（SWCD）反应器，专门设计用于提供高沉积选择性、均匀的层组成和卓越的工艺重复性。AMAT Producer SE集成了高产量的双向溅射设备和端点检测器系统，以提供高沉积选择性和均匀的层组成。双向溅射装置通过在目标表面上产生负电荷和正电荷来产生均匀的薄膜。与传统的溅射系统相比，这确保了更均匀的层沉积。端点检测机器允许在定义的端点进行额外的过程控制以及自动关闭。应用材料生产商SE沉积反应器采用的离心沉积（CD）技术是一种高通量、高产量、低工艺可变性的技术,与传统的溅射相比,它减少了薄膜沉积时间。这是通过在沉积薄膜的同时以高角速度旋转晶片，从而使沉积均匀性最大化来实现的。Producer SE reactor features a advanced tool architecture for enhanced process automation,从而减少了过程循环时间。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS Producer SE反应堆具有变频驱动器，为所有关键操作参数提供精确控制，包括温度、压力、射频功率和流量。反应堆还具有坚固的材料输送系统，可实现精确和稳定的流速，产生较高的沉积速率，同时最大限度地减少潜在的变异性。综上所述，AMAT Producer SE是一种具有先进技术的离心沉积反应器，设计用于高沉积选择性和工艺重复性。这项技术结合其强大的交付系统，确保了最高的生产产量、产量均匀性和缩短的工艺周期时间。