二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9358626 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一个强大的、业界领先的半导体制造反应堆,能够提供复杂的蚀刻和沉积工艺。该反应堆具有生产级增长能力,为用户提供高吞吐量、快速循环时间和坚固的熔炉性能。单晶片绝缘模块可将基板温度降低70°C,以满足更清洁、更快、更可靠的沉积过程。这种高效的反应堆提供了支持计量的过程控制,以确保可靠的晶圆掺杂、沉积和蚀刻过程。AMAT Producer SE是有助于降低能源成本的环保工具。此外,该系统的设计要求最低限度的维护,更清洁的操作和改进的等离子体均匀性,从而产生更好的产量。该工具具有先进的互锁系统,设计用于操作员安全和遵守全球安全标准。APPLIED MATERIALS Producer SE具有AMAT EdgeTM-一种AI驱动的传感器和控制包,可提供实时的过程优化。传感器还为反应堆提供保护,使其免受严重温度或流动事件的影响,否则会造成不良的基板损坏。EdgeTM技术由数据驱动的机器学习算法提供支持,这些算法可自动适应不断变化的过程条件。Producer SE提供高级过程控制,允许用户控制温度、压力和流量。该反应器可以利用先进的压力传感器监测气体穿越温度,从而提供准确的过程温度分布。此外,该反应堆还提供晶圆传输和载荷,包括堆芯中心和偏心晶圆卡盘系统。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE还配备了加热晶圆穿梭机,简化了预处理和后处理操作。这种高度精确和自动化的晶片处理系统确保了每个加工晶片的均匀性。3轴加工室运动为沉积、均匀扫描、晶圆对准等提供了水平和垂直的运动。AMAT Producer SE还提供了许多高级后处理选项,包括修边和角圆。这为用户提供了提高设备可制造性和产量的全面方法。应用材料生产商SE反应堆配有应用材料直观用户界面和pGEM™图形用户界面(GUI)软件。细致的过程开发和数据分析功能可帮助您优化制造效率。使用pGEM,操作员可以快速轻松地为其流程选择最佳配方。总体而言,生产SE反应堆是一种先进而强大的半导体制造工具,提供高效的基板加工和高质量的结果。优化的设计以安全和经济高效的方式确保了可靠和可重复的过程。
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