二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9390419 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE（基材蚀刻）反应器是一种最先进的光刻室，设计用于硅片的高级蚀刻加工。它能够对基材进行干式和湿式蚀刻，可用于广泛的蚀刻应用，如：深反应性离子蚀刻（DRIE）、感应耦合等离子体蚀刻（ICP）和离子束蚀刻（IBE）。AMAT Producer SE中的先进技术使其成为当今最强大的蚀刻系统之一。APPLIED MATERIALS Producer SE利用双壁架空加热器设计依靠独立控制的端口和独立的射频源来确保一致和准确的温度控制。这种独特的特性让反应堆通过防止排气或其他可能造成温度不规则的热现象，达到并保持最佳温度。独立的高架加热器也保证了整个晶片蚀刻的极好的均匀性。Producer SE的另一个优点是它能够同时处理多个晶片。该系统有六个处理室，允许它并行进行多次蚀刻，以更快、更具成本效益的生产。因此,AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE非常适合大规模生产或大批量应用。AMAT Producer SE具有全自动处理室,能够处理复杂、精确的蚀刻操作。它配备了多工具、多配方控制器，用于对多蚀刻操作的精确、同步控制。它还具有先进的自动化算法和闭环过程控制，以确保统一的蚀刻过程。APPLIED MATERIALS Producer SE的鲁棒性设计使它能够提供对温度、压力和工艺气体的精确控制，从而产生最佳的蚀刻特性。该系统还可实现最高的生产率和吞吐量,并具有最小的刀具时间和维护要求。Producer SE提供稳定可靠的工艺室，为客户提供最大性能和可靠性的蚀刻生产。它是推动高收益、高性价比蚀刻工艺的理想选择。