二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9390849 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是一种超高真空、涡轮分子泵浦、多室反应器，用于半导体芯片的加工。它设计用于处理从3英寸到8英寸的各种晶圆尺寸,并提供超高级别的过程控制,以确保一致和可重复的结果。AMAT Producer SE能够每小时处理多达200个晶圆，是大批量生产的理想选择。应用材料生产商SE具有先进的等离子体加工室,配置了多个射频源,用于电感耦合等离子体（ICP）和电容耦合等离子体（CCP）过程。此外，它还配备了高灵敏度腔室压力监控器以及数字压力控制器和阀门，用于精确的过程控制。在Producer SE中,射频源的高功率密度使过程具有更大的灵活性和控制能力。此外,ICP和CCP流程使用单一射频发电机供电,减少了对多台发电机的需求,使系统更具成本效益。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE腔室还配备了真空扩散泵，提供了更快的泵降时间和更好的真空性能。该系统还配备了一个过程加热器，以便对敏感过程进行精确的温度控制。此外，AMAT Producer SE还结合了几个提高安全性的功能，包括杜瓦、自动压力开关互锁和腔室保护装置。在过程监控方面,APPLIED MATERIALS Producer SE还提供了一套广泛的工具和传感器,如质量碎片监测器、分子检测系统和光发射探测器。从这些工具中获取的数据可用于优化过程和提高产量。此外,Producer SE还包含一系列诊断工具和附件,如质谱仪、过程监测器、光谱系统和泄漏探测器。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE还提供了一系列高级软件包来支持其运行。该软件提供了易于使用的图形用户界面，并允许用户设置和监控各种流程步骤的性能。总体而言，AMAT Producer SE是一个高级、高性能、多室处理平台，专为大批量生产而设计。凭借其先进的功能和全面的软件包,APPLIED MATERIALS Producer SE提供了前所未有的性能和成本效益。