二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9390853 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE Reactor是一种高效率的反应堆，设计用于金属、合金和其他材料的小规模生产单晶片电化学沉积工艺。该设备具有高性能电源,可实现精确、可重复的过程控制,并具有可靠、耐用的平台,可确保不间断的运行时间。该系统包括一个负载锁定、离子束诱导的沉积源，提供均匀的原料分布在基板上。可调腔室压力允许对整个沉积过程参数进行精确控制。高真空条件还有助于有效利用低成本原料，如金属和金属卤化物源。该单元的核心是一个单板腔室，可配置为多种基板过程，包括线性扫描和斜坡沉积、阶梯沉积和时间相关过程。通用选项允许自动控制整个过程，从离子束和沉积点到底物温度和电位。腔室还具有完全可调节的基板旋转和选择的隔离或冷却选项。该反应堆配备了一个集成的半闭环过程控制和质量保证（PCQA）机器，旨在确保一致的、可重复的结果。该工具具有多个传感器,可实时监视和控制流程参数,从而提供高级流程监控功能。资产还可以与实时监控模型集成，提供凹陷颗粒、薄膜厚度、成分、表面缺陷分析等反馈。这些设备可以进行缩放,以适应广泛的生产目标,从当今的单板晶片到先进的面板基板甚至更多。这种模块化使得可扩展的操作能够优化生产产量、成本效率和全面提高质量保证。整个过程还针对安全进行了优化，包括气体检测系统和控制等离子体和闪过事件的先进控制技术。此外，自动校准装置对过程参数提供恒定反馈，以确保最严格的过程控制。AMAT Producer SE Reactor是一种创新的工艺控制和沉积机，设计用于广泛的生产要求。该工具结合了出色的灵活性、高吞吐量和改进的过程一致性,使其成为当今苛刻的生产环境中的理想解决方桉。