二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer SE #9409076 待售

ID: 9409076
优质的: 2004
CVD System 2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE是设计用于半导体制造的先进反应器。AMAT Producer SE包含一个感应耦合等离子体(ICP)源,提供卓越的蚀刻性能。这样可以提高流程生产率、提高流程性能和一致性,并减少排泄率。应用材料生产商SE具有集成的物理气相沉积(PVD)模块和多频ICP源,提供对蚀刻深度、形状和工艺条件控制的卓越控制。电感耦合等离子体和物理气相沉积的选择使得可以在多个基板的较大区域进行均匀蚀刻,具有很好的可控性。先进的ICP源提供了高水平的功率控制,具有卓越的过程均匀性和可重复性。集成的多频ICP源在蚀刻过程中提供了更高的选择性和响应时间,可加快高达60毫秒的反应速度。先进的等离子体源可提供多种工艺配方,提供卓越的性能和卓越的工艺通用性。此外,Producer SE还配备了高长宽比蚀刻模块,以提高工艺精度和重复性。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE的浮动室设计也提高了蚀刻均匀性,以均匀的薄膜和种子层提供了优越的性能。先进的腔室设计也方便了更大的工作负载,允许快速吞吐量和高处理能力。最后,AMAT Producer SE提供尖端的制造能力,同时维持较低的运营成本。先进的等离子体源技术最大程度地降低了停机时间和停机时间成本,而自动校准和非接触式电极调整等功能可加快运行速度并降低维护成本。因此,APPLIED MATERIALS Producer SE提供了卓越的蚀刻能力,同时保持了较低的操作和维护成本。
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