二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer XT #9208802 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER XT Reactor是一种先进的等离子体增强化学气相沉积（PECVD）室,旨在提高产量、节省成本和提高最终产品可靠性。PECVD工艺在一系列半导体和光电材料中产生高均匀的薄层介电和保形膜层。AMAT Producer XT腔室具有更大的工作区域、更高的源功率和更好的温度稳定性,从而提高了加工能力。应用材料生产商XT室包括一个过程淋浴头，一个动力升降臂门，一个无烃的等离子体源和基础真空室。射频加热器为过程淋浴头提供动力，使气相沉积过程具有更高的源功率，从而提高了PECVD膜的质量和均匀性。无碳氢化合物等离子体源允许更高的沉积速率，在更广泛的薄膜厚度范围内提高厚度均匀性。基底真空室的最大压力仅为1Torr （133Pa），允许在降低温度的情况下进行优秀的薄膜沉积。在特性方面，Producer XT反应堆在所有裸露表面提供了出色的晶片均匀性，快速沉降速度为1,400um/min，并配备了全自动晶片传输和装载设备。用户界面设计直观，系统具有广泛的可自定义参数设置，以满足不同流程需求的需求。它的设计目的还在于最大限度地提高设备的产量和吞吐量,提高生产效率和降低每晶圆的成本。为确保工艺质量和安全，AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER XT反应堆具有一系列安全特性，包括自对准冷却机、紧急关闭特性和自动化工艺监控。该工具还具有一整套诊断工具,可用于高效故障排除。最后，AMAT Producer XT反应器是一种先进的PECVD资产，旨在提高薄膜层沉积的效率、安全性和质量。其广泛的特性和可定制的参数使其成为生产半导体和光电材料的理想选择。