二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #293603980 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer（有时也称为AMP）是一种先进的、多过程的腔室，设计用于制造薄膜涂层和薄膜材料的沉积。AMP能够在单个设备中执行许多不同类型的沉积过程，如溅射沉积、化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）。开发AMP工艺是为了满足业界对先进薄膜材料和涂料不断增长的需求。AMP室由耐腐蚀材料构成，具有三个工艺区，每个工艺区都装有一个主工艺腔。对主要工艺腔进行密封，以最佳控制工艺环境，确保薄膜涂层的可重复性。每个工艺区还配备了自己的专用部件，如基板加热器、运输机构和遥控升降臂。AMP室有一个全自动的装卸系统，能够同时处理多种基板，同时保持清洁和无污染的环境。AMP还可以配备多种工艺工具，方便磁控管溅射、离子束沉积、CVD和电解沉积等不同沉积技术。每一种沉积技术都提供了一套好处，包括提高对薄膜涂层质量和均匀性的控制，加快制造时间和提高能效。除工艺工具外，AMP腔室还包含各种控件、进给线和流量控制器，以提供最佳的工艺控制。腔室还配有气体单元，用于精确控制腔内的气体压力和成分。煤气机还有助于减少沉积作业过程中的热或等离子体损伤。最后，AMP还配备了一个精密的监控工具，可以提供详细的工艺数据，包括工艺时间和薄膜厚度读数。该数据可用于调整沉积过程，以优化薄膜材料和涂层的质量。AMP是一种先进的制造资产，能够满足行业标准的精度和准确性。