二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #293824606 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer是一种工业级真空沉积反应器，专为薄膜沉积和工艺集成而设计。该反应堆与物理气相沉积、溅射沉积、化学气相沉积、原子层沉积等多种薄膜沉积技术和能力相连接。它有几个特点，如多个源篮、一个原位高温计和一个多点运行结束（EOR）等离子体监测仪。它还能够提供高达2,400瓦的功率。AMAT Producer由几个子系统组成，包括真空室、真空泵以及工艺和电源。真空室装有视口，并装有一个模块化的伸缩感光器，可容纳多达8英寸的晶片和小样品。真空泵设计用于提供精确的压力控制，用于疏散腔室并维持预定压力。应用材料生产商的一系列工艺来源包括直流磁控管和射频磁控管，分别用于溅射沉积和反应性离子蚀刻（RIE）工艺。直流磁控管是内部安装的自备电源，而RF磁控管则是外部安装，与主电源接口。该电源可提供高达2,400瓦的射频功率,是模块化的,配有调谐和匹配射频源的设备。内部高温计提供沉积过程中晶片的原位温度监测，而EOR等离子体监测仪则允许操作员评估沉积过程的终点。这使操作员能够微调沉积参数并优化过程。生产商还与一系列能够冷却腔壁的组件以及用于监测和控制基板温度和腔室清洁度的主动环境控制系统相结合。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer是一个高效、用途广泛且用户友好的反应堆，为一系列微电子应用提供了出色的薄膜沉积解决方桉。它易于操作,并提供了从一个流程切换到另一个流程的灵活性,从而实现了出色的流程可重复性和可重复性。总体而言，这种反应器是那些需要可靠和坚固的薄膜沉积系统的人的绝佳选择。