二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9111149 待售
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已售出
ID: 9111149
CVD System, 12"
(3) Chambers
(4) Load Ports
EFM: Kawasaki Robot 30D61H-A002
TM: Brooks Mag 8, P/N: 0190-25011
AE APEX 3013, P/N: 3156114-006
MKS ASTRONex
Currently in cleanroom
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer,又称AMAT Producer,是一种先进的扩散和外延反应堆,用于制造从半导体装置到太阳能电池的一系列技术。APPLIED MATERIALS Producer的设计目的是创建高精度和可重复的薄膜,以及减少循环时间和确保过程一致性。反应堆是用比传统工艺工具更大的腔室建造的,允许提高吞吐量和多个工艺并行进行。反应堆利用高温、超高真空(UHV)技术,利用电子束等热源在精确的温度和厚度下传递热量,以便在晶圆上创建所需的薄膜结构。晶片首先放在一个持有人的特高压室内,然后用加热器线圈将其加热到所需温度。晶片加热后,使用低压源扩散适当的气体或冷凝材料,如砷或磷。这种气体或材料充当掺杂剂,然后通过沉积膜扩散形成所需的结构。此过程具有以下好处:更快的过程周期时间、改进的过程控制以及产品到产品的可重复性更高的一致性。生产商非常适合在需要薄膜生长和掺杂的半导体制造中使用的工艺。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer也可以用来製作厚度范围广泛的薄膜,以及具有粗糙和熔化特性的薄膜。这允许制造各种设备,例如:晶体管、二极管、收发器和半导体存储器芯片。AMAT生产商的灵活性、低压技术和可重复性使其成为研发新技术的宝贵工具。其能力和技术进步可用于各种晶圆厂功能和工艺,使应用材料生产商成为制造技术不可或缺的要素。
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