二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9192631 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer是为等离子体增强分子束外延（PEMBE）而制造的先进反应器技术。该反应堆使半导体器件的开发和生产能够在工业规模上进行，从而允许大批量生产满足严格半导体器件要求的器件。该反应堆的设计旨在提供高水平的工艺控制，使设备生产能够快速进行，设备产量和效率达到最高水平。AMAT Producer由几个组件组成，包括一个多维反应堆室，带有射频（RF）线圈，一个平面角闪石敏感器和一个卡盘。高度自动化的控制软件旨在自动化设备生产过程，并提供气体流量、沉积温度和其他设备参数等多种设置。流程参数可以通过基于Web的界面进行调整，为用户提供即时调整设备参数和监控设备生产进度的能力。反应堆的底盘由铝制框架和不锈钢外墙组成，使其轻巧耐用。然后这个框架填充了几个由高性能陶瓷制成的组件。疏散室的温度范围在50-250摄氏度之间，高压10-13托尔，非常适合发生在等离子体增强分子束外延的反应条件。射频线圈向基板提供必要的能量，然后与引入腔室的源气体发生反应。射频线圈还用于提供磁场，用于塑造正在研究的反应的电子束和离子束。平面角闪石敏感器是晶圆所在反应器内的平台，用于整个器件的开发。由于反应器室的高温环境，敏感器必须具有耐热的能力，这就是为什么AMAT使用钙铁矿陶瓷（一种热膨胀质量低的材料）生产敏感器的原因。这种材料还提供了高水平的热冲击和强度，使其成为用于这类设备生产的绝佳选择。总体而言，APPLIED MATERIALS PRODUCER是一种先进的反应堆技术，为设备生产和工艺开发提供了与工业相关的平台。通过提供一个高度可控的参数集，设备产生一个一致的，高产量的产品，满足严格的要求。它的轻巧、耐用的设计和坚固的组件使设备能够保持严格的标准,其自动化控制软件减少了获得最佳设备性能所需的手动干预量。