二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9204130 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer是一个高性能的大型反应器，设计用于钨化学气相沉积（CVD）和用于半导体器件制造的钨层的预加工和后处理。该反应堆设计用于将垂直均匀、无缺陷的钨层输送到各种基板上。Materials AMAT Producer的设计具有较大的磁感器直径,允许720 mm的均匀沉积和消除非均匀性。该反应堆还具有均匀的感应温度控制功能，允许在晶圆两侧设置独立的温度。APPLIED MATERIALS Producer也设计有光束监视器，提供沉积过程的实时监控。在处理多种类型材料的能力方面，材料生产商能够通过与多种试剂气体形成的反应进行CVD沉积、蚀刻和清洗。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer的设计目的是支持以钨为基础的策略和工艺,提供处理各种钨基板的能力,如铜、铜钨、钼和二氧化硅。AMAT Producer是一个多室构型反应器，具有两个室：工艺室和气源室。该工艺室包括一个低压范围射频电源、反作用室、两个独立的磁感器、一室式负载单元和一个真空室。气源室由控制气体压力和流量的端口、线轴片、干燥机和调节功率和反应条件的控制器组成。APPLIED MATERIALS Producer还附带了功能强大的软件,可提供实时过程条件以及高级诊断、数据记录和分析工具。这座反应堆由若干促进安全操作的安全特性所四舍五入，其中包括悬挂的烟罩、现场人员监测和32点安全关机系统。综上所述，Producer是一种先进而强大的反应堆，设计用于钨CVD和层的预加工和后处理。该反应堆对反应条件提供精确控制，支持多种材料，并包含一系列安全特性，以确保操作更加安全。