二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9221488 待售

AMAT Produce是为各种制造工艺而设计的反应堆。该反应器用于薄膜沉积，在各种薄膜厚度和沉积速率上对薄膜性能进行特殊的控制和均匀性。该设备专为批处理或串联处理而设计,可实现多种工艺和材料组合。该系统提供了一个可重复、可控和可靠的过程和均匀性结果。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer包括两个长岛沉积源和两个主腔室，每个主腔室都有两个载荷锁。载荷锁可以用螺栓固定在一起，形成一个单室组件。两侧的两个负载锁分别通风，以控制过程压力和温度。腔室组件和载荷锁由高质量的不锈钢和铝加上可选的钛衬腔室底座构成。腔室尺寸、内部温度和压力由集成的计算机控制温度和压力调节器维护和监控。AMAT Producer专为高吞吐量应用而设计,在15分钟内提供多达30个薄膜结构的生产速率。沉积源为均匀的薄膜沉积提供高达1千瓦的底物功率。此源可以手动或自动模式操作。手动模式允许过程操作员精确控制包括反应堆过程气体的温度、压力和流量等变量。自动模式允许对这些变量进行远程控制。APPLIED MATERIALS Producer的控制单元建立在经过验证的机器体系结构之上。该工具包括一个直观的图形用户界面（GUI），允许用户输入流程参数、监控流程性能以及跨多个流程访问历史数据。该资产还包括一个功能强大的工艺开发模块，用于快速设置和优化薄膜沉积工艺。生产商采用多种物理和化学传感器来测量反应过程气体参数和薄膜沉积性能。这些监测参数包括沉积速率和均匀性、底物温度和热电沉积速率。该模型确保薄膜沉积过程遵循所需的参数。AMAT/APPLIED MATERIALS Producer非常适合用于各种薄膜沉积应用。适合于要求均匀薄膜沉积在高长宽比高达20：1的基板上的应用。该设备具有较高的吞吐量能力,使工艺开发人员能够快速设置和优化薄膜沉积工艺。凭借先进的控制系统和质量组件，它是可靠、可重复的薄膜沉积处理的理想平台。