二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9262473 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Producer是一种高级沉积和蚀刻反应器，设计用于制造半导体器件。它采用了最新的技术进步，以便能够以高精度和均匀性沉积和蚀刻纳米级层。该设备利用具有两个电子源的等离子体腔室，产生具有电流强度和等离子体种类等多种参数的高能离子。这样就可以在确定尺寸和厚度的基板上沉积具有极好均匀性的材料。该腔室配有光学发射光谱，监测等离子体的化学成分，并允许精确控制所需的能级和掺杂剖面。还包括质谱分量，用于监测传入等离子体离子在基质上的溅射速率。该系统还能够进行各种蚀刻过程，如反应性离子蚀刻、深反应性离子蚀刻和等离子体增强化学气相沉积。该单元还通过全面的图形用户界面和过程控制机具备综合控制能力。流程控制工具为用户提供了一些基于模拟的流程，以帮助创建行业标准流程配方。腔室是高度模块化的，可以配置为容纳不同的流程配方，允许用户运行针对特定应用进行优化的特定流程。资产的设计使其能够适应各种沉积和蚀刻过程。沉积室由具有可变功率水平的双动力基板支架和非易失性内存模型组成。反应性气体和特种气体可根据需要添加到腔室中，以执行特定的过程。蚀刻室的设计目的是尽量减少对基板的损坏，并进行高选择性蚀刻工艺。AMAT Producer是一款功能强大的半导体生产设备，可确保高精度沉积和蚀刻。它专为极高的精度、高吞吐量和先进的过程控制而设计。该系统适用于从超小型特性到高精度、均匀性大基板的半导体器件制造。